On-line在线薄膜厚度检测方案

简         介

优尼康科技有限公司（UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.）成立于2012年11月，注册于中国香港， 是翌颖科技(上海)有限公司的子公司。 
        
翌颖科技(上海)有限公司主要为半导体、新能源企业和高校及研发中心提供各类精密进口制程及测量设备。提供的一对一*，技术支持，备件管理和咨询服务。

Filmetrics方案推广商，具备方案定制，改造升级，本土化维护，与备件库的方案提供商，是Filmetrics 中国区售后服务中心

什么是Parylene ?

聚对二甲（Poly－para－ xylylene；简称（ parylene）是一种高分子聚合物，在中国又称为＂派瑞林”。
Parylene是六十年代中期美国 Union Carbide Co．开发应用的一种新型敷形涂 层材料根据分子结构的不同， Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。

常用派瑞林材料基本特性

(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉强30%,耐电压低于N粉, C粉适用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐电压高防水, 防腐性能低于C粉, 适用于微型电机矽钢片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐电压都比C-N粉各项性能提高了15%左右, 是在C-N粉基础上提升起来的,己经代替了C-N粉生产用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外线强应用于户外产品, 材料成本偏高客户暂时很难接受单价.

什么是Parylene C?

Parylene C 是系列中第二个具有商业价值的成员。它由相同的单体制成，只是将其中一个芳香烃氢原子用一个氯原子所取代了。

综合了优良的介电性能和物理机械性能，对潮湿和腐蚀性气体有低的渗透性。

可以提供真正的无针孔覆形隔离。满足美军标MIL-46058C,是涂敷重要电路板的材料。符合ISO-10993生物试验要求。符合UDP第六类塑料的生物试验要求.

Parylene 特性

Parylene沈积可以经由活泼的单体（ monomer）气体，聚合于物体表面上，而不同于一般常见经由液体涂层的方法制备。

其活性分子在被涂装的对象表面生成*披覆的聚合物薄膜，可涂装到任何形状的表面面，且不产生死角，包括括尖锐的棱角、隙缝内部与极细微的针孔中，

膜厚可一致性的被覆在产品的任何部位，薄膜厚度由1um－50um，是极薄的涂装之一。

Parylene 行业应用

Parylene制程工艺介绍

Parylene采用化学气相沉积工艺（CVD）。

配积过程分为三步骤：
1．真空条件下, 以120℃将固态粉末状的对二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加热汽化;

2．以650℃ 将气态的对二甲苯的二聚物 ,裂解为对二甲苯 (para-xylylene) 的 活性单体(monomer);

3．气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。

Parylene 制程设备生产管控三要素

Parylene 产品不良的3种特征

Parylene 

日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收购美国特种涂层公司Specialty Coating Systems(SCS)。

两家同为行业，吉世科在聚对二甲苯市场已深耕18年，在材料科学与研发上拥有很深的背景，而SCS与聚对二甲苯的诞生颇有渊源，

是聚对二甲苯市场的销售商。

生产过程中容易出现的问题及监管

问题： 

1 .镀膜过程材料分解纯度不够 （缸体内压力控制 ，到时厚度均匀性差
2. 材料在缸体停留时间过长 ，导致产品发白
3. 产品缸内摆涉及原材料气相流动，也会对产品的厚度均匀性产生影响 
4. 生产过程中堵缸，产品膜厚不增长 
5. 挡风板结构设计很重要，不合理会残留材料会导致送料管堵塞

温度，压力管控 、厚度在线监控

产品发白，发蓝，产品附着力差、膜厚不均匀.

Filmetrics –在线测量的优势

 快、准、省

无损，非接触式测量、预警

1.生产产品过程监控—实时反馈生产数据，提高产品品质
2.提高生产效率— 设定生产指标 ，报警提示
3.节省材料成本— 缩小产品指标公差，材料节省可见
4.减少人工成本— 监控室直接在线数据监管
5.堵缸、停缸监控— 节省材料，与人工挽救不良率
6.给产品设定的厚度范围 
7.方便不同产品工艺的调整

8.经过客户实际生产测算，7个缸体工作，一年节省15%~50% 材料与人工支出,良品率 的提升由56% 提升到 86~95%.

Filmetrics –生产过程在线监控与测量的生产线布置示意图

Unicorn–产品全检在线测量方案

F32 --测量原理

Filmetrics –在线测量产品介绍

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离线式手动检测