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XRF镀层测厚仪常见故障场景及应对方案
2025-9-12
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XRF镀层测厚仪是高精度分析设备,长期使用可能因环境、操作或部件老化出现故障。及时排查隐患可保障测量稳定性,本文总结常见故障场景及应对方案。一、测量数据偏差异常1.基材污染若数据持续偏高,需检查样品表面是否残留油污或氧化层。用酒精/丙酮擦拭后重新测量,若差异5%,需用砂纸轻抛基材表面消除干扰。2.标样校准失效定期用标准膜校准,若比对偏差±10%,需重新标定。注意:校准时选择与样品同基材的标准片,避免材质差异导致误差。二、X射线发生器异... -
光学膜厚测量仪常见故障的维修解决方法
2025-9-9
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光学膜厚测量仪是一种用于测量材料表面涂层厚度的精密仪器,广泛应用于金属、塑料、陶瓷等材料的涂层厚度检测。在日常使用过程中,膜厚仪可能会出现一些故障,需要进行维修。光学膜厚测量仪常见故障的维修解决方法:1.膜厚仪无法开机先检查电源线是否连接正常,电源插座是否有电。如果电源没有问题,可能是仪器内部的电源模块出现故障,需要更换电源模块。在更换电源模块时,务必关闭电源,避免触电。2.膜厚仪显示异常如果膜厚仪在使用过程中出现显示异常,如显示闪烁、乱码等现象,可能是显示屏或显示驱动电路出... -
“纳米级火眼金睛”:解密KLA光学轮廓仪的科技力量
2025-8-20
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在半导体、先进材料与精密制造领域,KLA公司作为检测与量测设备供应商,其研发的光学轮廓仪(如KLA-Tencor系列)被誉为“纳米级火眼金睛”。这类非接触式三维表面形貌测量系统,广泛应用于芯片制造、存储器件、光电子和研发实验室,用于精确表征微观结构的几何形貌与表面质量,是保障先进制程良率的核心工具。精准用途:为微观世界“画像”KLA光学轮廓仪主要用于测量晶圆表面的台阶高度、薄膜厚度、表面粗糙度(Ra、RMS)、翘曲度、缺陷形貌及微结构尺寸(如Trench、Via)。在半导体工... -
探针式表面轮廓仪故障排除与问题处理指南
2025-8-18
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探针式表面轮廓仪广泛应用于表面形貌的测量与分析,其主要通过接触式探针扫描被测表面,获得其三维轮廓数据。然而,在长期使用过程中,设备可能会遇到各种问题和故障。了解常见故障的原因,并掌握相应的处理方法,对于确保设备的精度和延长使用寿命至关重要。以下是一些常见问题和故障及其处理方法。一、探针无法正常接触表面故障原因:1.探针损坏:探针头可能因长期使用或不当操作而损坏,导致无法与表面良好接触。2.仪器校准不当:如果仪器没有正确校准,探针可能无法精确定位到待测表面。3.表面污染:待测表... -
白光干涉轮廓仪的工作原理、操作步骤与维护保养
2025-8-15
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一、白光干涉轮廓仪简介白光干涉轮廓仪是一种高精度的测量设备,广泛应用于表面轮廓的三维测量。其工作原理基于干涉效应,通过白光(即包含多种波长的光源)照射到待测表面,利用干涉条纹的变化来分析表面的形貌。与传统的接触式测量方法相比,白光干涉轮廓仪具有非接触、无损伤、高精度、高分辨率的优势,能够精确地测量微米级或纳米级的表面形态。这种设备通常用于材料科学、光学、电子工业、半导体、机械加工等领域,尤其是在对复杂表面结构、高精度要求的测量中表现出色。常见的应用场景包括薄膜厚度测量、表面粗... -
XRF镀层测厚仪破解多层镀层检测难题的技术路径
2025-8-11
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一、XRF镀层测厚仪核心原理:荧光强度与镀层厚度的量化关联XRF镀层测厚仪通过以下步骤实现多层镀层检测:X射线激发与荧光产生X射线管发射高能X射线,击出镀层或基底材料原子的内层电子(如K层),外层电子跃迁填补空穴时释放特征X射线荧光。不同元素(如Ni、Au、Cu)的特征荧光能量具有唯一性,形成“元素指纹”。镀层厚度与荧光强度的关系单层镀层:镀层越厚,基底材料产生的荧光信号越弱(因X射线被镀层吸收更多)。通过测量镀层和基底特征荧光的强度比值,结合标准曲线法或理论参数法(FP法)...