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探针式台阶仪的功能及应用

2020-05-09 [2170]

探针式台阶仪的功能及应用

探针式轮廓仪(台阶仪)主要用于材料的结构及表面解析,在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。

同时按照应用的领域不同,要求不同,台阶仪的型号也多种多样,下面以我们优尼康提供的一款型号为P-17的台阶仪为例,简单介绍下这款仪器的功能以及应用,以供大家参考了解台阶仪可以做什么,有哪些功能,该型号为常用款,如有更高需求也可以咨询我们,会为大家更合适的机台。

主要功能有:


·台阶高度:几纳米至1000μm
·微力恒力控制:0.03至50mg
·样品全直径扫描,无需图像拼接
·视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
·圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

·软件:简单易用的软件界面
·生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

 

主要应用:

·台阶高度:2D和3D台阶高度

·纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

·形状:2D和3D翘曲和形状

·应力:2D和3D薄膜应力

·缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌

 

工业应用


·大学、研究实验室和研究所
·半导体和化合物半导体
·LED:发光二极管
·太阳能
·MEMS:微机电系统
·数据存储
·汽车
·医疗设备
·还有更多,请与我们联系以满足您的要求