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3D光学轮廓仪可以测量很多种材料参数

2021-06-23 [577]
  3D光学轮廓仪对各种产品,部件和材料的表面轮廓,粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。一句话概括就是超光滑表面(纳米级)微观形态的量度。
  传统的机械零件由于受加工设备的限制,对精度包括平面度,粗糙度的要求常规下停留在微米量级。但随着技术发展,人们对机械零件的加工精度要求开始向纳米量级迈进,设备加工精度的提高带动检测技术的发展,传统的检测手段包括接触式和2D方式的检测方法对检测纳米量级精度的机械零件有很大的局限性。
  3D光学轮廓仪初应用在光学加工行业时,其3D、高速、精密、可靠和稳定,开始引起加工人士的注意并开始应用。3D光学轮廓仪已在汽车发动机喷油嘴、半导体切割刀具、人工关节制造、量块标定等方面有的应用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直线度和高度差等在机械加工检测中呈现出新的应用。
  3D光学轮廓仪新一代的系统模块化设计,具备高度弹性之组合配置,可针对不同之量测需求配置来符合不同之量测应用:搭载电动鼻轮,zui多可同时挂载5种物镜,使用时直接切换,省去手动更换的麻烦。同时配备电动调整移动平台,可对样品作自动调平及定位。垂直与水平轴向扫描范围大,适合各种自动量测之应用,样品皆不需前处理即可进行非破坏、快速的表面形貌量测与分析,使用于业界研发生产、制程改善以及学术研究等单位。
  3D光学轮廓仪之高度分辨率可达0.1 nm,而搭配使用Z垂直轴量测扫描行程更可达到100mm,且水平轴向亦可达次微米解析,除此3D光学轮廓仪可透过计算机控制移动平台进行水平扫瞄,使其水平轴向量测范围可达到150 × 150mm,并可依据客户需求修改平台尺寸。3D光学轮廓仪搭配快速的校正程序以及演算原理,系统校正结果可以追朔至NIST标准,并结合数种创新且强固可靠的算法,因此本系列产品可同时拥有高度以及大范围量测的特质。