本文导读一、外延工艺简介：为什么外延缺陷会卡住整条产线二、量测的痛点：为什么外延缺陷难检三、PrimaScan全表面自动扫描方案四、实测数据：50mmInP外延片扫描结果五、从检测到良率闭环的价值六、方案总结与常见问题InP外延片的良率，常常由几个直径小于0.1μm的缺陷决定。这类缺陷靠人工目检难以发现，每次漏检都可能造成后续MOCVD返工或器件失效。在800G、1.6T乃至未来3.2T光模块的驱动下，DFB激光器、PIN光电探测器对波长精度与可靠性的要求越来越高，而外延层的...

做膜厚测量的工程师几乎都遇到过这种情况：同一台仪器，不同人测出来差好几纳米；今天的数据和上周的对不上；跟客户的结果碰不拢。多数时候不是仪器坏了，而是误差来源没搞清楚，校准没做到位。这篇文章不讲原理公式，直接回答三个问题：膜厚仪该怎么校准才算到位、测不准的时候怎么排查、日常怎么做才能让数据一直稳定。目录膜厚仪的误差从哪来校准该怎么做标准片的门道六个高频故障场景与排查日常怎么维护总结1.膜厚仪的误差从哪来反射式膜厚仪的工作链条可以简化为四步：光源发出宽带光，光照射到样品表面，膜层...

一、测量需求背景表面形貌测量通常关注三类指标：台阶高度、粗糙度与三维形状。其中粗糙度描述表面微观起伏的统计特征，不直接对应某一具体结构尺寸，却通过摩擦磨损、密封配合、疲劳寿命、光学散射、膜层附着等过程影响产品表现。在半导体与精密光学制造中，粗糙度更多出现在工序中间而非终检环节。化学机械抛光（CMP）后的表面质量决定外延生长质量与栅氧界面状态；镀膜前的基底粗糙度会影响膜层附着力，同时干扰后续的膜厚光学测量，表面过粗会使反射信号明显减弱。因此粗糙度测量的核心问题不是"能不能测"，...

一、背景与问题医用球囊是一种由导管引入人体腔道或血管、通过充气或充液实现扩张、支撑或药物释放的医疗器械，广泛应用于心血管、泌尿、消化等领域的疾病治疗，主要用于以下几种功能。·扩张狭窄：这是最基本也是最重要的功能，通过物理扩张力撑开狭窄的管腔（血管、消化道、气道、泌尿道等），恢复管腔的通畅性。·解除梗阻：通过扩张狭窄的通道，如前列腺增生，解除管腔的梗阻，恢复血液、尿液、食物、胆汁、气体等的正常流动。·输送与锚定器械：作为功能性植入物的载体，将支架或瓣膜等植入性医疗器械精确送到目...

故事的起点，一段跨越160年的技术史诗1861年，一位名叫威廉·汤姆森（WilliamThomson）的英国物理学家，也就是后来被封为开尔文勋爵的那位。发明了一种测量极低电阻的方法。他用四根独立的引线来消除测试引线电阻和接触电阻带来的误差，这就是后来被称为开尔文四线检测或四端法的测量技术。这项发明在当时或许并未引起太多波澜。然而，汤姆森不会想到，他这套思路会在一个多世纪后，成为半导体工业中最核心的工艺监控手段之一。1920年，Schlunberger将四探针原理第一次付诸实际...

在薄膜测量领域，FilmetricsF20膜厚仪是一款很有代表性的产品。从1995年问世到现在，它卖了将近三十年，全球累计出货量早已上万台，至今依然是很多实验室和产线上的常用设备。这篇文章想聊聊F20膜厚仪这款机器是怎么来的、经历了哪些重要变化，以及它和中国的故事。一、F20膜厚仪的诞生1995年之前，市面上能做薄膜厚度测量的仪器价格很高，一台商用膜厚仪通常要五万美元甚至更多。操作这些设备也十分繁杂，需要经过专业培训，测一次样品往往要花几分钟甚至几小时。对于很多中小型企业和高...