3D光学轮廓仪的测量原理和主要功能

　　3D光学轮廓仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：

　　1.表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）

　　2.几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）

　　3D光学轮廓仪仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹，使基本的光学显微镜系统变为光学3D表面轮廓仪。

　　3D光学轮廓仪主要功能：

　　1、共聚焦

　　共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。共聚焦算法Z轴测量重复性在纳米范畴。

　　2、干涉

　　?相位差干涉 (PSI)

　　相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。

　　白光干涉 (VSI)

　　白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以纳米级的纵向分辨率。

　　3、多焦面叠加

　　多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（大86°）。此功能对工件和模具测量特别有用。

　　4、薄膜测量

　　用分光反射计可以完善地解决薄膜厚度测量。S neox 在增加了分光反射计后可以测量10nm的膜厚和多10层膜。由于是通过显微镜头测量，小的测量点为5um。因为系统里有组合的LED光源，所以实时观察和膜厚测量能同时进行。

　　5、测量及分析软件

　　SensoSCAN是一款简洁友好的操作软件。它将用户进入3D的世界，提供*用户体验。在软件界面内，用户可以直观明确地了解所用的测量方式，同时还能显示和分析数据。

　　6、强大的分析软件

　　增配SensoPRO LT 或SensoMAP软件就能轻易实现全自动测量和分析。