Webinar课程:快速傅里叶变换:测厚膜时您的得力助手
2020-08-12
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课程
KLA Instruments | Webinar课程:快速傅里叶变换:测厚膜时您的得力助手
※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用;加深对产品的理解。
超过8微米的厚膜会产生很多光干涉条纹。分析这样复杂光谱的一个简洁方法就是用快速傅里叶变换。FILMeasure 软件包括一系列高智能方法来简化光谱分析。这包括FFT窗口功能,波长范围自动优化,以及光学厚度滤波。
我们会讲到光斑尺寸的影响以及设备的选配。还会讲到多层薄膜的应用。
下期预告:
时间:2020年9月17日 上午10点
敬请期待!(届时注意查看推送文章)