HORIBAUVISELPlus全光谱椭偏仪的现代薄膜测量解决方案在半导体、平板显示、光伏和先进材料等制造领域，薄膜的厚度与光学性质直接决定了器件的电学性能与最终良率。从几埃（Å）的原子层到数十微米的功能涂层，每一层薄膜的微小偏差都可能导致整批产品的失效。椭圆偏振技术（Ellipsometry）凭借其非接触、无损、高灵敏度的特性，已发展成为薄膜表征领域最核心的光学计量技术之一。它通过测量线偏振光经薄膜样品反射后偏振状态的变化，结合光学模型拟合，精确获取薄膜的厚度、折射率（n）...

一、台阶仪的技术演进与KLA的行业优势台阶仪（StylusProfiler）的核心原理可追溯至20世纪初的机械触针式表面粗糙度测量仪。早期的触针式测量依赖机械杠杆与指针读数，测量精度受限于机械放大倍数与人为读数误差，仅能用于宏观粗糙度的粗略评估。1940年代至1960年代，随着电子技术的发展，触针式轮廓仪开始引入差动变压器式传感器，将机械位移转化为电信号，测量分辨率突破微米级门槛。这一阶段的设备已在实验室获得应用，但仍受限于较慢的扫描速度和有限的数据采样能力。1970年代末至...

医疗器械涂层厚度测量-药物支架、亲水涂层与Parylene医疗器械上的功能涂层越来越多。药物洗脱支架靠涂层控制药物释放节奏，导管导丝靠亲水涂层降低插入摩擦，植入物靠Parylene涂层做绝缘和防护。这些涂层有的只有几百纳米，有的是几微米，但厚度和均匀性直接关系器械的安全性和有效性。这篇文章从三类典型器械讲起，说清医疗涂层为什么难测、用什么方法测、操作时要注意什么。目录1.医疗涂层测厚是什么，怎么测2.三类器械与测量要点3.为什么医疗涂层难测4.常用测量方法对比5.实操要点与注...

光栅量测方法对比与光学法适用边界说明测表面浮雕光栅没有一台设备通吃。有人在亚波长结构上硬上白光干涉，测出来槽深漂移大，返工几次才意识到方法不对。优尼康科技（UnicornTechnology，KLAFilmetrics中国区总代理）把常用五类方法的适用范围摊开讲，先看清样品尺度，再选设备，能省掉不少试错。目录引言：方法选错，样品和时间都浪费光栅量测要看哪些指标五种方法怎么分工边界表：什么时候该换方法实测踩坑与选型决策树具体设备怎么挑延伸阅读1.引言：方法选错，样品和时间都浪费...

衍射光波导靠表面浮雕光栅（SRG）把光从侧面耦合进人眼。槽深、占空比、侧壁角这三个形貌参数直接决定耦入效率和出瞳均匀性，批量生产时哪怕几纳米的漂移都会被放大成亮度不均。优尼康科技（UnicornTechnology，KLAFilmetrics中国区总代理）整理这套形貌参数的量测分工与适用边界，供产线工艺和量测工程师参考。目录引言：光栅三参数为什么卡住AR良率SRG怎么成型，三参数怎样影响耦入槽深、占空比、侧壁角怎么测白光干涉、共聚焦、椭偏三种光学法对比实测边界：周期和深宽比决...

光学轮廓仪是一种利用光学干涉或共焦显微原理，对物体表面三维形貌进行非接触式测量的高精度仪器，广泛应用于半导体制造、微机电系统（MEMS）、精密加工、材料科学及生物医学等领域。在微电子和精密制造行业中，薄膜台阶高度、表面粗糙度、划痕深度及微结构尺寸等参数对产品性能和可靠性有直接影响。传统接触式探针轮廓仪在测量软质材料或易损伤表面时存在局限性，光学轮廓仪通过非接触测量方式，避免了探针对样品的机械损伤，同时能够在较大视场范围内获取高分辨率的三维表面数据。该设备的典型配置包括光学系统...