光栅量测方法对比与光学法适用边界说明测表面浮雕光栅没有一台设备通吃。有人在亚波长结构上硬上白光干涉，测出来槽深漂移大，返工几次才意识到方法不对。优尼康科技（UnicornTechnology，KLAFilmetrics中国区总代理）把常用五类方法的适用范围摊开讲，先看清样品尺度，再选设备，能省掉不少试错。目录引言：方法选错，样品和时间都浪费光栅量测要看哪些指标五种方法怎么分工边界表：什么时候该换方法实测踩坑与选型决策树具体设备怎么挑延伸阅读1.引言：方法选错，样品和时间都浪费...

衍射光波导靠表面浮雕光栅（SRG）把光从侧面耦合进人眼。槽深、占空比、侧壁角这三个形貌参数直接决定耦入效率和出瞳均匀性，批量生产时哪怕几纳米的漂移都会被放大成亮度不均。优尼康科技（UnicornTechnology，KLAFilmetrics中国区总代理）整理这套形貌参数的量测分工与适用边界，供产线工艺和量测工程师参考。目录引言：光栅三参数为什么卡住AR良率SRG怎么成型，三参数怎样影响耦入槽深、占空比、侧壁角怎么测白光干涉、共聚焦、椭偏三种光学法对比实测边界：周期和深宽比决...

光学轮廓仪是一种利用光学干涉或共焦显微原理，对物体表面三维形貌进行非接触式测量的高精度仪器，广泛应用于半导体制造、微机电系统（MEMS）、精密加工、材料科学及生物医学等领域。在微电子和精密制造行业中，薄膜台阶高度、表面粗糙度、划痕深度及微结构尺寸等参数对产品性能和可靠性有直接影响。传统接触式探针轮廓仪在测量软质材料或易损伤表面时存在局限性，光学轮廓仪通过非接触测量方式，避免了探针对样品的机械损伤，同时能够在较大视场范围内获取高分辨率的三维表面数据。该设备的典型配置包括光学系统...

从F20到F50，光学膜厚仪如何实现亚纳米级膜厚控制？引言在半导体制造、光学镀膜、化合物半导体、柔性电子等制造领域，薄膜厚度的精确控制直接决定了器件的电学性能、光学特性和长期可靠性。以聚酰亚胺（PI）为例——作为柔性显示、MEMS器件和先进封装中最关键的介电材料之一，其膜厚偏差超过5%，便可能导致器件应力分布失衡、介电击穿或光传输效率显著下降。而在产线环境中，工程师面临的现实问题是：一个光刻胶涂覆批次中，同一晶圆的片内膜厚均匀性和批次间均值偏移，都需要在数秒内完成快速无损检测...

光学镀膜膜厚测量：增透膜、高反膜与滤光片从手机摄像头的增透膜到激光陀螺的高反镜，从5G光通信的DWDM滤光片到AR眼镜的波导镀膜——光学镀膜是精密光学系统的核心使能技术。而这些镀膜的性能，归根结底取决于一个看似简单的参数：每一层膜的厚度是否精确。对于λ/4规整膜系，厚度偏差±1%就足以让反射率从99.5%掉到98%；对于窄带滤光片，偏差±0.1%就可能导致中心波长漂移出规格。本文从光学镀膜的膜系设计出发，系统梳理膜厚测量的三种核心方法——QCM、光...

用反射光谱给薄膜拍地图：光谱反射膜厚仪的原理与厚度Mapping能力薄膜研发与产线质检里，反复出现一个需求：不仅要知道这片膜有多厚，还要知道它厚得均不均匀。近期一项3R-MoS₂厚度制图研究（Laudert等人，）把反射干涉测厚做到好，恰好能说明光谱反射膜厚仪的物理原理与能力边界。本文精读该论文，并落地到Filmetrics膜厚仪。目录薄膜为什么会显出厚度：干涉条纹是底层逻辑只靠几个波长就能反演厚度：稀疏光谱采样把方法变成相机：多光谱成像显微镜从单点反演到整片地图：厚度Map...