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光学轮廓仪主要功能

2019-11-01 [1225]

1.ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像。

2.ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率。


3.AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化。

4.ZXI:白光干涉测量技术,适用于z向分辨率高的广域测量。

5.ZDot:同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。

6.ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据。

7.生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量。

8.光学轮廓仪可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜。

9.采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应用。

10.晶圆传送机械臂: 自动加载直径为50mm至200mm的不透明(如硅)和透明(如蓝宝石)样品。