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浅析椭偏仪的成像技术原理

2019-10-28 [651]
   椭偏仪的成像技术为超小块的电影分析和原位椭圆偏振仪测量,流体环境椭偏测量分析,可以实现结合各种技术,例如布儒斯特角镜、表面等离子体共振、原子力显微镜和石英晶体微天平仪器、磅槽、反射光谱法和太赫兹光谱、拉曼光谱和更多的研究人员使用。这些新的功能,扩展产品的椭偏法的应用领域。椭偏光学显微技术带来新的研究也构成的技术,例如在非测量液膜的稳定性和显微成像面上的挑战等。
  椭偏仪应用广泛在线监测薄膜的厚度,对成品率无疑至关重要。然而保鲜膜在传送带上的速度堪比百米飞人博尔特,检测时间又以秒计,其难度可想而知。如此艰巨的任务,椭偏仪将如何完成呢?
  在工程师的帮助下,椭偏仪与流水线巧妙地融为一体:
  借助的数据库和算法,椭偏仪每2秒即可进行一次的膜厚测量,可以实时跟踪喷涂量对膜厚的影响:
  椭偏仪还可以实时跟踪石墨烯的沉积过程。
  作为半导体科研事业的两大主角:光电器件与光伏电池的关系自是不一般。上节课说过,椭偏仪如今已是光电器件领域的小红人;那么接下来它与光伏电池的合作自然顺理成章。
  今天我们就来唠唠椭偏仪与光伏电池间的那点事儿。
  太阳能硅电池表面层肩负导电、增透两大关键任务,直接影响硅电池基本性能。通过提供硅电池表面层的结构、光学性质和电导率等信息,椭偏仪成为硅电池工艺优化的坚强后盾。
  首先椭偏仪可以直接获取渐变层的厚度以及表面粗糙度信息,如粗糙层532埃、SnO26582埃、SiCxOy256埃。
  与此同时椭偏仪可以获取渐变层SnO2顶部和底部的光学性质:直观表示出SnO2顶部和底部折射率及吸光系数随波长变化发生的改变:利用这组数据,我们可以进一步解析出表面层的减反射性质、载子浓度和电导率等等信息。