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光学轮廓仪的十一个操作步骤说明

2020-01-15 [935]
   光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
  光学轮廓仪是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
  光学轮廓仪操作步骤:
  1. 将样品放置在夹具上,确保样品状态稳定;
  2. 将夹具放置在载物台上;
  3. 检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;
  4. 使用操纵杆调节三轴位置,将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹;
  5. 完成扫描设置和命名等操作;
  6. 开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);
  7. 进入数据处理界面,“去除外形”,采用默认参数,应用获取样品表面粗糙度轮廓;
  8. 进入分析工具模块,参数分析,直接获取面粗糙度数据,右侧参数标准可更换参数标准,增删参数类型;
  9. 如果想获取线粗糙度数据,则需提取剖面线;
  10. 进入数据处理界面,“提取剖面”图标,选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取;
  11. 进入分析工具界面,“参数分析”图标,右侧参数标准,勾选所需线粗糙度相关参数,即可获取线粗糙度Ra数据。