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KLA 表面光学轮廓仪

简要描述:KLA Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300光学轮廓仪的基础上,增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388光学轮廓仪采用ZDot技术和多模组光学系统,可测量各种不同的样品:包括透明与不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面,以及亚纳米级到毫米级的台阶高度。

  • 产品型号:Zeta-388
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-06-25
  • 访  问  量:3791
产品详情

KLA Zeta-388 光学轮廓仪





KLA Zeta-388 光学轮廓仪产品介绍:

KLA Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300光学轮廓仪的基础上,增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388光学轮廓仪采用ZDot技术和多模组光学系统,可测量各种不同的样品:包括透明与不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面,以及亚纳米级到毫米级的台阶高度。KLA Zeta-388光学轮廓仪支持OCR和SECS/GEM,从而可用于全自动产线的生产制造。



KLA Zeta-388 光学轮廓仪产品特点:

  • 快速的非接触式三维光学轮廓仪

  • 多模组光学系统提供3D扫描、差分干涉、薄膜厚度和自动缺陷检测

  • 全自动测量

  • 同时提取样品表面的真彩色信息和形貌信息

  • 支持100至200mm的晶圆

  • 支持OCR和SECS/GEM,适用于自动化产线的生产环境

  • 用户界面简洁直观



KLA Zeta-388 光学轮廓仪主要应用:

  • 从纳米级到毫米级的台阶高度,可用于高深宽比台阶测量

  • 从亚纳米级至亚毫米级的表面粗糙度分析,适用于光滑表面和粗糙表面

  • Z向高分辨率的白光干涉测量,可用于广域台阶高度测量

  • 移相扫描干涉技术可快速测量小于250nm的台阶高度

  • 薄膜应力和样品翘曲测量

  • 测量30nm到100μm透明薄膜的厚度,可提供薄膜均匀性数据和薄膜厚度分布图

  • 自动缺陷检测,可识别横向尺寸大于1μm的缺陷



KLA Zeta-388 光学轮廓仪产品测量原理:

KLA Zeta-388 光学轮廓仪‌的原理‌是通过共聚焦原理实现样品的高分辨率、高对比度的光学切片能力。它结合了传统光学显微镜和激光共聚焦显微镜的特点,利用宽谱白光作为光源,通过空间滤波机制消除离焦光干扰,从而获得高精度的三维图像


KLA Zeta-388 光学轮廓仪其他应用:

图形化蓝宝石衬底

VCSEL元件

纳米级台阶高度

激光切割

晶圆级封装

其他应用



KLA Zeta-388 光学轮廓仪测量图:







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