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椭偏仪的应用领域和特点

2020-04-26 [703]
   椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种吸引力的测量仪器。
  椭偏仪应用领域:半导体、微电子、MEMS、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科学研究、物理、化学、生物、医药。
  椭偏仪可测材料:半导体、介电材料、有机高分子聚合物、金属氧化物、金属钝化膜、自组装单分子层、多层膜物质和石墨烯等等。
  椭偏仪构造:在椭偏仪的测量中使用不同的硬件配置,但每种配置都必须能产生已知偏振态的光束。测量由被测样品反射后光的偏振态。这要求仪器能够量化偏振态的变化量ρ。
  有些仪器测量ρ是通过旋转确定初始偏振光状态的偏振。再利用第二个固定位置的偏振片来测得输出光束的偏振态。另外一些仪器是固定起偏器和检偏器,而在中间部分调制偏振光的状态,如利用声光晶体等,终得到输出光束的偏振态。这些不同的配置的终结果都是测量作为波长和入射角复函数ρ。
  在选则合适的椭偏仪的时候,光谱范围和测量速度也是一个通常需要考虑的重要因素。可选的光谱范围从深紫外的142nm到红外的33microm。光谱范围的选择通常由应用决定。不同的光谱范围能够提供关于材料的不同信息,合适的仪器必须和所要测量的光谱范围匹配。
  椭偏仪产品特点:
  1、更简便快捷的样品准直方法
  2、软件具备丰富的材料数据库
  3、连续波长的光源为用户提供了更大的应用空间
  4、允许用户自定义色散模型,更方便用户研究新材料的光学性质
  5、全波长多角度同时数据拟合,EMA模型用户多成分化合物和表面粗糙度分析
  6、具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
  7、光谱范围宽达250 - 1100nm
  8、椭偏仪功能强大的光谱椭偏测量与分析软件