光学膜厚测量仪采用的是一种XRF光谱分析技术

　　光学膜厚测量仪采用的是一种XRF光谱分析技术，X光管产生的X射线打到被测样品时可以击出原子的内层电子，出现壳层空穴，当外层电子从高轨道跃迁到低能轨道来填充轨道空穴时，就会产生特征X射线。X射线探测器将样品元素的X射线的特征谱线的光信号转换成易于测量的电信号来得到待测元素的特征信息。

　　使用光学膜厚测量仪的注意事项有以下三点：

　　一、注意保持试件表面的清洁和平整

　　的光学膜厚测量仪是一个非常精密的仪器，如果我们要想我们的测量数据能够保持的话，就要保持试件表面的清洁，及时的处理掉试件表面的附着物如泥土、油污等，因为光学膜厚测量仪对于试件的表面变化是比较敏感的所以我们一定要保持测量表面是处于一个平整的状态。

　　二、测量的次数与读数要有一定的可靠性

　　我们在进行测量时不能够草草了事，单凭一次的测量以及单一的数据是没有足够的可靠性和说服力的，必须要做到科学的抽样测量，对于不同的地点进行测量并在在一定的面积之内取出不同的测量读数，这样才能我们的光学膜厚测量仪能够有做好的效果。

　　三、注意测量的方法要得当

　　测量时要能够有得当方法才能够测量出足够的数据，首先要注意对于测头相对于试件的压力，保持好恒定的压力以免对于测量数据造成影响，还有就是要测量的使用姿势事正确的，使得光学膜厚测量仪的测头与试件保持一个垂直的状态。