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一文看懂KLA光学轮廓仪的应用与使用维护
2026-2-5
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KLA光学轮廓仪是一类基于非接触式光学技术的三维表面形貌测量设备,广泛应用于半导体、微电子、精密制造、材料科学及科研等领域。作为高精度表面计量工具,它能够快速获取样品的三维形貌、粗糙度、台阶高度、体积、平面度等关键参数,为工艺控制和质量评估提供可靠数据支持。应用领域在半导体制造中,KLA光学轮廓仪用于测量光刻胶厚度、刻蚀深度、化学机械抛光(CMP)后的表面平整度以及晶圆翘曲等;在先进封装领域,可检测焊球高度、RDL线路形貌及TSV(硅通孔)结构;在MEMS器件研发中,用于表征... -
KLA光学轮廓仪的表面形貌检测应用
2026-1-23
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KLA光学轮廓仪是基于非接触式光学干涉原理的高精度表面形貌检测设备,具备纳米级分辨率与三维成像能力,可实现对样品表面粗糙度、台阶高度、微观形貌的快速精准分析,广泛应用于半导体、材料科学、微电子、精密制造等领域。以下是其核心应用场景与检测要点:一、半导体行业——芯片制程与器件检测半导体领域是KLA光学轮廓仪的核心应用场景,直接关系到芯片良率与性能稳定性。晶圆表面形貌检测检测晶圆抛光后的表面粗糙度(Ra、Rq)与平整度,确保晶圆表面无划痕、颗粒污染、凹陷等缺陷;同时可测量晶圆上光... -
在选购精密防震工作台时,可以考虑以下几点
2026-1-19
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在现代科研和工业生产中,精密设备的稳定性至关重要。无论是在电子测试、光学实验还是精密机械加工中,任何微小的震动都可能导致测量误差或产品缺陷。因此,采用高质量的精密防震工作台来提供一个稳定的工作环境显得尤为重要。精密防震工作台的定义精密防震工作台是一种专门设计用于减少环境振动和冲击对敏感设备影响的工作台。它通常配备有有效的减震系统,能够吸收外界的震动,从而保护设备和实验结果的准确性。主要特点1.减震系统:精密防震工作台通常配备气垫、弹簧或橡胶减震材料,这些材料能够有效吸收并消散... -
XRF镀层测厚仪使用的基本步骤如下
2026-1-16
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XRF镀层测厚仪支持多元素同步分析,适用于金、银、镍、铬等金属镀层及多层复合结构,广泛运用于电子、汽车、航空航天等行业的质量控制。其优势在于非接触式测量避免样品损伤,便携式设计与数字化校准功能提升检测效率,符合ASTM、ISO等国际标准,为工业镀层工艺优化与失效分析提供精准数据支持。为了确保XRF镀层测厚仪测量结果的准确性和长期稳定性,遵循正确的操作流程至关重要。以下是使用的基本步骤:1、准备工作在开始测量之前,先确认工作环境符合要求,避免强电磁干扰和震动。检查电源连接是否正... -
光学膜厚测量仪的使用注意事项有以下几点
2026-1-12
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光学膜厚测量仪利用光学的特点,能够直接检测出物件涂层、或者是其它物件的厚度。光学膜厚测量仪所利用的工作原理,便是光的折射与反射。这种仪器在使用时,摆放在物件的上方,从仪器当中发射了垂直向下的可视光线。其中一部分光会在膜的表面形成一个反射,另一部分则会透过仪器的薄膜,在薄膜与物件之间的界面开成反射,这个时候,薄膜的表面,以及薄膜的底部同时反射的光会造成干涉的现象。仪器便是利用了这样的一种现象,从而测量出物件的厚度。厚度的测量看似简单,实测上所利用的光反射原理,却是需要经过一系列... -
主动式减震台的原理和主要应用领域
2025-12-15
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主动式减震台是一种用于有效隔离和抑制外部震动或干扰的设备。它通过主动控制系统,实时监测并调节平台的震动反应,以达到对实验台或设备的震动隔离。主动式减震台广泛应用于高精度测量、科研实验、精密仪器、光学设备和半导体制造等领域,能够提供稳定的工作环境,确保设备和实验过程不受外部干扰。工作原理主动式减震台的工作原理与被动式减震台不同。被动减震通常依赖于阻尼材料和弹簧等物理元件来吸收振动,而主动式减震则是通过实时监测震动并采用反馈控制系统,生成与震动方向和幅度相反的信号,主动抑制或消除...

