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台阶仪的主要分类有哪几种?
2020-2-24
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台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号...
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5G时代重要的半导体材料:碳化硅(SiC)的膜厚测量
2020-1-17
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作者:KevinHu,优尼康科技有限公司技术工程师随着5G大潮的到来,新一代的移动通信产品大多具备高功率,耐高温等特性,传统原料中的硅(Si)无法克服在高温、高压、高频中的损耗,逐渐被淘汰,跟不上时代的发展,无法满足现代工艺的要求,这就使得碳化硅(SiC)新工艺在半导体行业崭露头角。目前SiC产品格局还处于三足鼎立的状态,美国、欧洲、日本占据产值的八成,其中又以美国独大,中国虽以即将进入5G时代,但是半导体在SiC方面仍属于发展初期,目前在基底、磊晶和零组件方面均有布局。为了...
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光学轮廓仪的十一个操作步骤说明
2020-1-15
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光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。光学轮廓仪是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓...
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台阶仪的类别与基本原理
2020-1-9
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今天主要讲下,关于表面形貌的测量:通常可分接触式与非接触式两种,在各个应用领域中,这两个方法具有互补性,并且各有不同,因此在实际应用以及选择机器的时候,一定要根据具体情况而定,建议先咨询相关的技术工程师。本期主要说下接触式表面形貌测量仪器:台阶仪台阶仪根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。基本工作原理如下:当台阶仪的触针在被测的物体表面轻轻滑过时,被接触的物体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程...
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什么是光学膜厚仪 ?
2020-1-3
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光学膜厚仪(SpectraThickseries)的特点是非接触,非破坏方式测量,无需样品的前处理,软件支持Windows操作系统等。Filmetrics的光学膜厚仪使用的是白光干涉的原理,从而对样品表面的膜层进行测量,基本上所有光滑的、半透明的或者地吸收洗漱的薄膜都可以进行测量。不管是打算测量薄膜厚度,还是光学常数,或者是打算知道材料的反射率和透过率,优尼康科技有限公司提供的仪器都可以满足你的需求,通过简单安装,连接电脑,就可以很快测量出结果。这种产品主要应用在,半导体行业...
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膜厚仪使用中需要注意的一些细节
2019-12-27
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在企业、厂商生产过程中,使用薄膜厚度测量仪(膜厚仪)都应该制定完善的操作规范制度,这样才好帮助工作人员更好的进行使用,并测量结果的性。现阶段,随着在我们优尼康购买膜厚仪的厂家越来越多,应用的场景和环境越来越广泛,在使用过程中需要注意的一些基本事项,还有操作细节,需要大家高度关注。下面来简单看下膜厚仪在操作中需要注意的细节(仅供参考,具体问题还是建议咨询我们工程师)一、在当下,这类薄膜厚度检测设备在很多领域当中都发挥了十分关键的作用,比如工厂、生产加工、半导体行业等等,大家在检...