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  • 光学膜厚测量仪的原理和产品特性介绍
    2019-8-27 724
    光学膜厚测量仪的特点是非接触,非破坏方式测量,无需样品的前处理,软件支持Windows操作系统等。光学薄膜测厚仪是使用可视光测量晶圆、玻璃等基材上形成的氧化膜,氮化膜,光致抗蚀剂等非金属薄膜厚度的仪器。光学膜厚测量仪测量原理如下:在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光,这时光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层(晶圆或玻璃)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。光学薄膜测厚仪就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度...

  • 半导体技术中的薄膜沉积
    2019-6-20 2751
    薄膜的沉积,是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在表面的扩散及在适当的位置下聚结,以渐渐形成薄膜并成长的过程。薄膜的生成质量以及膜厚检测在半导体制造中有很高的重要性。半导体技术中薄膜的沉积方式有以下分类:化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition)——CVD反应气体发生化学反应,并且生成物沉积在晶片表面。物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition)——PVD蒸镀(Evaporation)利用被蒸镀物在高温(近熔点)时,具备饱和蒸汽压,来沉积薄膜...

  • On-line在线薄膜厚度检测方案
    2019-6-20 1566
    简介优尼康科技有限公司(UNICORNTECHNOLOGYCO.,LTD.)成立于2012年11月,注册于中国香港,是翌颖科技(上海)有限公司的子公司。翌颖科技(上海)有限公司主要为半导体、新能源企业和高校及研发中心提供各类精密进口制程及测量设备。提供的一对一*,技术支持,备件管理和咨询服务。Filmetrics方案推广商,具备方案定制,改造升级,本土化维护,与备件库的方案提供商,是Filmetrics中国区售后服务中心什么是Parylene?聚对二甲(Poly-para-x...

  • 新应用-种子包衣膜测量 F3膜厚测量仪
    2017-6-7 1006
    所谓种子包衣是采取机械或手工方法,按一定比例将含有杀虫剂、杀菌剂、复合肥料、微量元素、植物生长调节剂、缓释剂和成膜剂等多种成分的种衣剂均匀包覆在种子表面,形成一层光滑、牢固的药膜。随着种子的萌动、发芽、出苗和生长,包衣中的有效成分逐渐被植株根系吸收并传导到幼苗植株各部位,使种子及幼苗对种子带菌、土壤带菌及地下、地上害虫起到防治作用。药膜中的微肥可在底肥借力之前充分发挥效力。因此,包衣种子苗期生长旺盛,叶色浓绿,根系发达,植株健壮,从而实现增产增收的目的。针对包衣膜厚的厚度管控...

  • 消磁器工作原理和性能测评
    2016-8-9 7109
    电镜应用环境改善方案!FEI(上海)张毅张承青关键词:电磁干扰、消磁器、消磁器工作原理和性能测评目录一.环境电磁干扰二.低频电磁干扰的改善途径三.主动式消磁器的基本工作原理及适用范围四.主动式消磁器性能改进(双线圈、双探测器)五.评测主动式消磁器性能的主要指标六.主动式消磁器性能测评一.环境电磁干扰自从人类发现了电磁应用以来,电磁能这种不能直接观察到的物理现象正在日益深入我们生活的方方面面。电磁力给我们带来许多便利,大大改善人们的工作和生活环境,但是在造福人类的同时也带来许多...

  • 震动隔离系统-防振台防震台的使用
    2016-8-9 1641
    电镜和其它精密仪器对环境震动要求很高,例如电镜要求X、Y、Z方向的低频震动(0~30Hz)<6微米;30Hz以上的高频震动<12微米.。20Hz以下的低频震动,对电镜的干扰影响zui大。如果超过该指标,电镜在高倍率(1万倍以上)照相,就难于得到理想图像。普通扫描电子显微镜(SEM)当安置到楼房高层(2层以上),或置于有强震动的场地时(例如附近地下有地铁,),高倍率3万倍以上观察、照相就无法进行。而必须使用震动隔离系统-防振台。场发射电镜(FEM)要在几十万倍观察和照相,对震动...

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