Lumina AT2薄膜缺陷检测仪实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。在2分钟内扫描并显示300毫米晶圆。动态补偿表面翘曲。可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。可容纳高达450 x 450 mm的非圆形和易碎基板。能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。

型号：AT2

更新日期：2024-06-28

￥59

Lumina AT1薄膜缺陷检测仪实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。在3分钟内扫描并显示150毫米晶圆。可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。 可容纳高达300 x 300 mm的非圆形和易碎基板。 能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。

型号：AT1

更新日期：2024-06-28

￥59