KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜基于ZDot技术而来。Zeta-20 白光共聚焦显微镜可以对大部分材料和结构进行成像分析，从光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求，所有硬件安装和操作都简单易用。

型号：Zeta-20

更新日期：2025-06-25

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KLA Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300光学轮廓仪的基础上，增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388光学轮廓仪采用ZDot技术和多模组光学系统，可测量各种不同的样品：包括透明与不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亚纳米级到毫米级的台阶高度。

型号：Zeta-388

更新日期：2025-06-25

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