KLA P-7 探针式台阶仪是KLA公司的探针式台阶仪系统。KLA P-7 探针式表面轮廓仪建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了性价比。KLA P-7 探针式台阶仪可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

型号：P-7

更新日期：2025-06-25

￥面议

KLA P-170 全自动探针式表面轮廓仪一款盒对盒型台阶仪，具有KLA P-17 探针式表面轮廓仪的台式系统测量性能和HRP260系统经生产验证的处理程序。该系统提供了一个可编程的扫描平台、低噪音和整个垂直范围内的亚安格伦电子分辨率，可以在样品表面的任何地方进行高分辨率扫描。

型号：P-170

更新日期：2025-06-25

￥面议

KLA P-17 探针式台阶仪是P系列探针式台阶仪的产品。该系统具备可编程扫描平台、低噪声电子分辨率，垂直范围内实现高分辨率扫描，能够覆盖样品表面整个区域。KLA P-17 探针式台阶仪的优点包括200mm扫描平台，可以在无需拼接的情况下测量整个基片。UltraLite传感器组件结合了线性垂直测量和恒定力控制，可测量各种材料和地形。

型号：P-17

更新日期：2025-06-25

￥面议

KLA D600 探针式表面轮廓仪采用光学杠杆传感器技术提供高分辨率、较大的高度测量范围和准确的微力控制。探针的接触式测量技术的优点是直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针尺寸选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改变，以及测量由材料结构改变引起的粗糙度和应力变化。

型号：D-600

更新日期：2025-06-25

￥面议

KLA D500 探针式表面轮廓仪的光学杠杆传感器技术提供高分辨率、较大的高度测量范围和准确的微力控制。探针的接触式测量技术的优点是直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针尺寸选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改变，以及测量由材料结构改变引起的粗糙度和应力变化。

型号：D-500

更新日期：2025-06-25

￥面议