KLA光学轮廓仪KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉轮廓仪。KLA Profilm3D 光学轮廓仪使用垂直干涉扫描(WLI)技术与相位干涉(PSI)技术。以较低的价格实现次纳米级的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不损伤样品。

型号：Profilm3D

更新日期：2025-09-12

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3D白光干涉轮廓仪，KLA Profilm3D 光学轮廓仪使用垂直干涉扫描(WLI)技术与相位干涉(PSI)技术。以较低的价格实现次纳米级的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不损伤样品。

型号：

更新日期：2025-09-23

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KLA 表面光学轮廓仪，KLA Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300光学轮廓仪的基础上，增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388光学轮廓仪采用ZDot技术和多模组光学系统，可测量各种不同的样品：包括透明与不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亚纳米级到毫米级的台阶高度。

型号：Zeta-388

更新日期：2025-09-12

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