首页 > 产品中心 > 薄膜厚度测量 > 光学薄膜厚度测量仪 > F3-sX系列Filmetrics薄膜厚度测量仪

Filmetrics薄膜厚度测量仪

简要描述:Filmetrics薄膜厚度测量仪:F3-sX系列膜厚测量仪利用光谱反射原理,可以测试众多半导体及电解层的厚度,可测大厚度达3毫米。此类厚膜,相较于较薄膜层表面较粗糙且不均匀,F3-sX系列配置10微米的测试光斑直径因而可以快速容易的测量其他膜厚测试仪器不能测量的材料膜层。而且仅在几分之一秒内完成。

  • 产品型号:F3-sX系列
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-08-25
  • 访  问  量:1969
产品详情

F3-sX 系列薄膜厚度测量仪



满足薄膜厚度范围从15nm到3mm的厚度测试系统

    F3-sX家族利用光谱反射原理,可以测试众多半导体及电解层的厚度,可测厚度达3毫米。此类厚膜,相较于较薄膜层表面较粗糙且不均匀,F3-sX系列配置10微米的测试光斑直径因而可以快速容易的测量其他膜厚测试仪器不能测量的材料膜层。而且仅在几分之一秒内完成。

波长选配

    F3-sX采用的是近红外光(NIR)来测量膜层厚度,因此可以测试一些肉眼看是不透明的膜层( 比如半导体膜层) 。980nm波长型号,F3-s980,专门针对低成本预算应用。F3-s1310针对于高参杂硅应用。F3-s1550则针对较厚膜层设计。

配件

    配件包括自动绘图平台、测量点可视化的摄像机, 和可见光波段选项,使测量厚度能力小达到15纳米。此外数据采集速率达到1kHz,让F3-sX系列成为许多在线应用的选择(比如“roll-to-roll"工艺)。


1636433706859986.png

测量原理为何?

膜厚测量仪|光学轮廓仪|Filmetrics|优尼康|粗糙度测量

FILMeasure分析-薄膜分析的标准部件

微信截图_20211109093513.png

可选配件

膜厚测量仪|光学轮廓仪|Filmetrics|优尼康|粗糙度测量

应用

•         Si晶圆厚度测试

•         保形涂层

•         IC 芯片失效分析

•         厚光刻胶(比如SU-8光刻胶)

选择Filmetrics的优势

•         桌面式薄膜厚度测量

•         24小时电话,邮件和在线支持

•         所有系统皆使用直观的标准分析软件

附 加 特 性

•         嵌入式在线诊断方式

•         免费离线分析软件

•         精细的历史数据功能,帮助用户有效地

•         存储,重现与绘制测试结果







留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
产品中心
相关文章