产品详情
Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪
Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪产品介绍:
Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪依靠光谱测量系统,可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪配置精度高使用寿命长的移动平台,以求能够做成千上万次测量。
Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪产品优势:
自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;
可测样品膜层:基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量;
测绘结果可用2D或3D呈现,方便用户从不同的角度检视;
Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪常见工业应用:
半导体膜层 | 显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
Filmetrics F50 自动Mapping膜厚测量仪产品参数:
波长范围: | 190nm-1340nm | 光源: | 钨卤素灯、氘灯 |
厚度测量范围: | 5nm-2mm | 测量精度: | 0.02nm |
光斑大小: | 标准1.5毫米 | 样品台尺寸: | 1-300mm |
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