Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪
Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪产品介绍:
无论您是想要知道薄膜厚度、光学常数,还是想要知道材料的反射率和透过率,Filmetrics F20 膜厚仪都能满足您的需要。仅需花费几分钟完成安装,通过USB连接电脑,设备就可以在数秒内得到测量结果。基于模块化设计的特点,Filmetrics F20 测厚仪适用于各种应用。
Filmetrics F20 膜厚仪产品特点优势:
非接触测量:避免损伤薄膜,适用于脆弱或敏感材料;
高精度与宽量程:垂直分辨率达纳米级,可测厚度范围从1nm至3mm;
多场景适用性:基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
测量速度快:配置完成后,数秒内即可完成测量。
Filmetrics F20 膜厚仪产品测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
Filmetrics F20 膜厚仪产应用与膜层范例:
薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等
薄膜种类:透明及半透明薄膜,常见如氧化物、聚合物甚至空气
薄膜状态:固态、液态和气态薄膜都可以测量
薄膜结构:单层膜、多层膜;平面、曲面
SiNx | TiO2 | DLC |
光刻机SU-8 | 聚合物 | 有机电致发光器AIQ材料 |
非晶硅 | ITO | 硒化铜铟镓CIGS |
Filmetrics F20 膜厚仪产品常见工业应用:
半导体膜层 | 液晶显示器 | 光学镀层 | 生物医学 |
光刻胶 | OLED | 硬涂层 | 聚对二甲苯 |
介电层 | ITO和TCOs | 抗反射蹭 | 医疗器械 |
Filmetrics F20 白光干涉膜厚测量仪测量图: