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Filmetrics 光学膜厚测量仪

简要描述:Filmetrics 光学膜厚测量仪
依靠 F60 的光谱测量系统,可以很简单快速地获得薄膜的厚度分布图。 采用 r-θ 极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。 在约 45 秒的时间就可以扫描完标准 49 点分布图

  • 产品型号:F60-t
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-06-05
  • 访  问  量:1729
产品详情

F60薄膜厚度测量仪


 

生产环境的自动测绘

Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率,但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及升级到全自動化晶圆传输的机型。

不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如, F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

膜厚测量仪|光学轮廓仪|Filmetrics|优尼康|粗糙度测量




选择Filmetrics的优势

• 桌面式薄膜厚度测量

• 24小时电话,邮件和在线支持

• 所有系统皆使用直观的标准分析软件

附加特性

• 嵌入式在线诊断方式

• 免费离线分析软件

• 精细的历史数据功能,帮助用户有效存储,重现与绘制测试结果






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