产品详情
F60薄膜厚度测量仪
生产环境的自动测绘
Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率,但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及升级到全自動化晶圆传输的机型。
不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如, F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
选择Filmetrics的优势
• 桌面式薄膜厚度测量
• 24小时电话,邮件和在线支持
• 所有系统皆使用直观的标准分析软件
附加特性
• 嵌入式在线诊断方式
• 免费离线分析软件
• 精细的历史数据功能,帮助用户有效存储,重现与绘制测试结果
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