台阶仪

简要描述:P-17台阶仪支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。

  • 产品型号:P-17
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-07-24
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产品详情

P-17 台阶仪

P-17台阶仪支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。

产品描述

P-17是第八代台式探针轮廓仪,是40多年的表面量测经验的结晶。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备的测量稳定性。 通过式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能,程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。


主要功能

·       台阶高度:几纳米至1000μm

·       微力恒力控制:0.0350mg

·       样品全直径扫描,无需图像拼接

·       视频:500万像素高分辨率彩色摄像机

·       圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

·       软件:简单易用的软件界面

·       生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用

·       台阶高度:2D3D台阶高度

·       纹理:2D3D粗糙度和波纹度

·       形状:2D3D翘曲和形状

·       应力:2D3D薄膜应力

·       缺陷复检:2D3D缺陷表面形貌

工业应用

·       大学、研究实验室和研究所

·       半导体和化合物半导体

·       LED:发光二极管

·       太阳能

·       MEMS:微机电系统

·       数据存储

·       汽车

·       医疗设备

·       还有更多:请与我们联系以满足您的要求


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