产品详情
Filmetrics 自动测量光学膜厚仪介绍：
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪借助F54-XYT-300的光谱反射系统，可以快速轻松地测量200 x 200mm样品的薄膜厚度。电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供快速的厚度测量，速度达到每秒两点。
特点优势：
自动化薄膜厚度绘图系统，快速定位、实时获得结果；
可测样品膜层：基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量；
测绘结果可用2D或3D呈现，方便用户从不同的角度检视；
测量原理：
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
应用与膜层范例：
常见工业应用：
半导体制造 | LCD液晶显示器 | 光学镀层 | MEMS微机电系统 |
光刻胶 | 聚酰亚胺 | 硬涂层 | 光刻胶 |
氧化物/氮化物/SOI | ITO透明导电膜 | 抗反射涂层 | 硅系膜层 |
晶圆背面研磨 |
产品参数：
波长范围： | 190nm-1700nm | 光源： | 钨卤素灯、氘灯 |
测量nk厚度要求1*： | 50nm | 测量精度2： | 0.02nm |
准确度*：取较大者 | 1nm或0.2% | 稳定性3： | 0.05nm |
样品大小： | ≤直径300毫米 | 速度（含有真空平台）： | 5个点-8秒 25个点-21秒 56个点-43秒 |
光斑大小 | 标准500 微米孔径 | 选配250 微米孔径 | 选配100 微米孔径 |
5X物镜 | 100μm | 50μm | 20μm |
10X物镜 | 50μm | 25μm | 10μm |
15X物镜 | 33μm | 17μm | 7μm |
50X物镜 | 10μm | 5μm | 2μm |
Filmetrics 自动测量光学膜厚仪测量图：
