KLA P-17 探针式台阶仪是P系列探针式台阶仪的产品。该系统具备可编程扫描平台、低噪声电子分辨率，垂直范围内实现高分辨率扫描，能够覆盖样品表面整个区域。KLA P-17 探针式台阶仪的优点包括200mm扫描平台，可以在无需拼接的情况下测量整个基片。UltraLite传感器组件结合了线性垂直测量和恒定力控制，可测量各种材料和地形。

型号：P-17

更新日期：2025-06-25

￥面议

KLA D600 探针式表面轮廓仪采用光学杠杆传感器技术提供高分辨率、较大的高度测量范围和准确的微力控制。探针的接触式测量技术的优点是直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针尺寸选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改变，以及测量由材料结构改变引起的粗糙度和应力变化。

型号：D-600

更新日期：2025-06-25

￥面议

KLA D500 探针式表面轮廓仪的光学杠杆传感器技术提供高分辨率、较大的高度测量范围和准确的微力控制。探针的接触式测量技术的优点是直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针尺寸选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改变，以及测量由材料结构改变引起的粗糙度和应力变化。

型号：D-500

更新日期：2025-06-25

￥面议