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Profilm3D 光学轮廓仪
低成本 – 高精度
Filmetrics让3D光学轮廓测量的价格变得能够接受。Profilm3D使用的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以优势的价格实现次纳米级的表面形貌研究。
100mm自动XY样品台
您还在位每人都希望要的功能而支付额外的费用吗?我们现在每台Profilm3D都将100mm自动XY样品台,4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置。
超大的视场范围
Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的超大视场范围,同时其4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购成本。
1 特征值
2 8 μm 台阶高度
3 度是指每天测量30次10um台阶高度标样的1次标准差,连续成功测量20天的平均值。环境温度稳定性小于 1°C。
稳定性是指连续成功测量10um台阶高度标样20天,取每天测量30次数值的平均值,计算2倍标准差。环境温度稳定性小于 1°C。
4 所有变焦缩放后的有效像素为648 x 484 (通过数位化的pixel binning实现)
5 分开销售
6 样品上投影的像素大小
7 样品表面粗糙时可测倾角将更大
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