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HORIBA 研究级经典型椭偏仪

简要描述:HORIBA 研究级经典型椭偏仪是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。

  • 产品型号:UVISEL Plus
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-06-06
  • 访  问  量:1283
产品详情

HORIBA 研究级经典型椭偏仪简介:

椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。


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技术参数:

      * 光谱范围: 190-885 nm(可扩展至2100nm)

      * 微光斑可选50μm-100μm-1mm

      * 探测器:分别针对紫外,可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器

      * 自动样品台尺寸:多种样品台可选

      * 自动量角器:变角范围40° - 90°,全自动调整,小步长0.01°


主要特点:

      * 50KHz 高频PEM 相调制技术,测量光路中无运动部件

      * 具备超薄膜所需的测量精度,超厚膜所需的高光谱分辨率

      * 具有毫秒级超快动态采集模式,可用于在线实时监测

      * 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件

      * 配置灵活  



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