HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品介绍:
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。它是用于快速薄膜测量和器件质量控制的解决方案。专为薄膜测量设计,一键式操作实现高效率。
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品特点:
可在450nm~1000nm波长内实现快速测量(<1秒)
多种光斑尺寸软件选择
自动装载和调整样品高度(需自动平台)
大面积自动成像(需自动平台)
温控台、液体样品池、电化学反应池、
密封气体池、透过率曲线测量等多种附件
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品优势:
光斑可视系统:HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪具备MyAutoView光斑可视系统,可清晰观察光滑或粗糙的样品表面,保证用户可将测量光斑准确定位在样品目标上的测量位置。
大样品成像选项:HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪配备自动平台,方便定位测量样品上微结构的位置,可对不均匀大样品片进行mapping成像。
智能诊断:HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪仪器维护非常简单,借助完整的操作向导,自动检测并诊断问题,对故障进行处理
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品测量原理:
HORIBA Auto SE 椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法。基于偏振光反射或透射时的状态变化来测量薄膜的厚度和折射率。当偏振光照射到薄膜表面时,反射光或透射光的偏振状态会发生变化,这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化,可以准确地推导出薄膜的厚度。
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪软件:
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪软件DeltaPsi2功能强大,它基于WindowsT操作系统,充分利用了HORIBA Scientific(JobinYvon光谱技术)椭偏仪硬件技术的优势,具有众多的建模和拟合处理功能,以及简单的操作界面,可为研究者提供便捷的椭偏分析手段。
梯度膜层
粗糙度或界面
材料组份/结晶度
各向异性膜层
薄膜厚度的不均匀性
退偏因子
与材料模型公式相关的完整的属性数据库
对于厚透明样品基底背景光的自动修正
周期变化结构
用户超薄薄膜应用的BLMC算法
多重猜测、多重初值、多重模型、相关性……
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪常见应用:
表面测量 | 光学特性 | 厚度测量 | |
非晶硅、多晶硅 | 粗糙度 | 光学常数(n,k) | 从几埃到15um |
纳米晶体硅 | 自然氧化物厚度 | 光学带隙Eg | 单层和多层膜 |
透明导电氧化物 | 表面薄膜厚度 | 透射率 | |
增透膜 | 退偏系数 | ||
半导体 | 平板显示 | 功能性涂料 | 生物和化学工程 |
介电薄膜 | TFT | 光学涂层 | 有机薄膜 |
金属薄膜 | OLED | 增透型、自清洁型 | 薄膜吸附 |
高分子、光刻胶 | 等离子显示板 | 表面镀膜和处理 | 表面功能处理 |
PZT膜 | 柔性显示板 | 有机材料 |
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品参数:
光斑尺寸 | 500µmX500µm,250µmX250µm, 100µmX100µm,250µmX500µm, 70µmX250µm*,50µmX60µm*, 25µmX60µm* | ||
测试时间: | 5s,Max1s | 可视系统: | MyAutoView |
Psi,Delta 测试精度: | Ψ=45°±0.05°-Δ=0°±0.2° | 折射率重复性 | n±0.001(1σ) |
厚度重复性: | d±0.1Å或0.01%(1σ) | 样品台尺寸: | 200mm-200mm |