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HORIBA 椭圆偏振光谱仪

简要描述:HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。它是用于快速薄膜测量和器件质量控制的解决方案。专为薄膜测量设计,一键式操作实现高效率。

  • 产品型号:Auto SE
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-06-24
  • 访  问  量:2257
产品详情

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪




HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品介绍:

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。它是用于快速薄膜测量和器件质量控制的解决方案。专为薄膜测量设计,一键式操作实现高效率。



HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品特点:

  • 可在450nm~1000nm波长内实现快速测量(<1秒)

  • 多种光斑尺寸软件选择

  • 自动装载和调整样品高度(需自动平台)

  • 大面积自动成像(需自动平台)

  • 温控台、液体样品池、电化学反应池、

  • 密封气体池、透过率曲线测量等多种附件




HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品优势:

光斑可视系统HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪具备MyAutoView光斑可视系统,可清晰观察光滑或粗糙的样品表面,保证用户可将测量光斑准确定位在样品目标上的测量位置。


大样品成像选项HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪配备自动平台,方便定位测量样品上微结构的位置,可对不均匀大样品片进行mapping成像。


智能诊断:HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪仪器维护非常简单,借助完整的操作向导,自动检测并诊断问题,对故障进行处理



HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品测量原理:

HORIBA Auto SE 椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法。基于偏振光反射或透射时的状态变化来测量薄膜的厚度和折射率。当偏振光照射到薄膜表面时,反射光或透射光的偏振状态会发生变化,这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化,可以准确地推导出薄膜的厚度。



HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪软件:

HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪软件DeltaPsi2功能强大,它基于WindowsT操作系统,充分利用了HORIBA Scientific(JobinYvon光谱技术)椭偏仪硬件技术的优势,具有众多的建模和拟合处理功能,以及简单的操作界面,可为研究者提供便捷的椭偏分析手段。

  • 梯度膜层

  • 粗糙度或界面

  • 材料组份/结晶度

  • 各向异性膜层

  • 薄膜厚度的不均匀性

  • 退偏因子

  • 与材料模型公式相关的完整的属性数据库

  • 对于厚透明样品基底背景光的自动修正

  • 周期变化结构

  • 用户超薄薄膜应用的BLMC算法

  • 多重猜测、多重初值、多重模型、相关性……




HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪常见应用:

界面特性

表面测量

光学特性

厚度测量

非晶硅、多晶硅

粗糙度

光学常数(n,k)

从几埃到15um

纳米晶体硅

自然氧化物厚度

光学带隙Eg

单层和多层膜

透明导电氧化物

表面薄膜厚度

透射率


增透膜

退偏系数



半导体

平板显示

功能性涂料

生物和化学工程

介电薄膜

TFT

光学涂层

有机薄膜

金属薄膜

OLED

增透型、自清洁型

薄膜吸附

高分子、光刻胶

等离子显示板

表面镀膜和处理

表面功能处理

PZT膜

柔性显示板

有机材料




HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品参数:

光斑尺寸

500µmX500µm,250µmX250µm,

100µmX100µm,250µmX500µm,

70µmX250µm*,50µmX60µm*,

25µmX60µm*

测试时间:

5s,Max1s

可视系统:

MyAutoView

Psi,Delta

测试精度:

Ψ=45°±0.05°-Δ=0°±0.2°

折射率重复性

n±0.001(1σ)

厚度重复性:

d±0.1Å或0.01%(1σ)

样品台尺寸:

200mm-200mm



HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪测量图:




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