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HORIBA 一键式全自动快速椭偏仪

简要描述:HORIBA 一键式全自动快速椭偏仪是新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

  • 产品型号:Auto SE
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-08-22
  • 访  问  量:1440
产品详情

HORIBA 一键式全自动快速椭偏仪的主要特点


1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高


2. 技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.


3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试


4. 全自动集成度高,安装维护简便


5. 一键式操作软件,快速简单


6. 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性




HORIBA 一键式全自动快速椭偏仪的技术参数


1. 光谱范围:450-1000 nm


2. 多种微光斑自动选择


3. 光斑可视技术,可观测任何样品表面


4. 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm


5. 70度角入射


6. CCD探测器




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